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精密儀器是指用以產生、測量精密量的設備和裝置，包括對精密量的觀察、監視、測定、驗證、記錄、傳輸、變換、顯示、分析處理與控制。精密儀器是儀器儀表的一個重要分支。

按照測量對象的不同，精密儀器可以劃分為以下幾類：

①幾何量精密儀器

主要包括檢測各種幾何量的精密儀器，如立式測角儀、激光干涉比長儀、經緯儀、三坐標測量機、圓度儀、輪廓儀和掃描隧道顯微鏡等測量儀器。

②熱工量精密儀器

主要包括溫度、濕度、壓力、流量檢測精密儀器，如各種氣壓計、真空計、多波長測溫儀表、流量計和高度表等。

③機械量精密儀器

主要包括各種測力儀器、應變儀、加速度與速度測量儀、轉矩測量儀、振動測量儀、萬能材料實驗機和布氏硬度計等。

④時間頻率精密儀器

主要包括各種計時儀器與儀表、原子鐘、時間頻率測量儀等。

⑤電磁精密儀器

主要用于測量各種電量和磁量，如電流表、電壓表、功率表、電阻測量儀、電容測量儀、靜電儀和磁參數測量儀等。

⑥無線電精密儀器

主要包括示波器、信號發生器、相位測量儀、頻譜分析儀和動態信號分析儀等。

⑦光學與聲學精密儀器

主要包括光譜儀、光度計、色度計、激光參數測量儀、光學傳遞函數測量儀、噪聲測量儀和聲吶測量儀等。

⑧電離輻射精密儀器

主要包括各種放射性、核素計量、X和λ等射線計量儀器等。